製品一覧

ジルコニア式酸素濃度計製品一覧

当社製品はシリーズ毎にそれぞれ特長を持っていますが、特にTBシリーズはそのデザインにより、高純度ガス中の微量酸素から真空雰囲気、燃焼排ガス中の酸素測定まで非常に幅広い用途でご使用頂いています。
その他、N2PSA組込用、O2PSA組込用の他、応用製品としてプレミックスガス分析計、高温ガス水分計、酸素ポンプ等、通常の酸素測定以外にも特長ある製品をユーザーのニーズに応えて製作しています。

用途別機種一覧へ

新製品

クリーンガス用酸素濃度計
OA-Ⅰシリーズ

【主な用途例】
・研究施設・装置
・実験施設・装置
・装置組み込み

詳しく見る

ジルコニア酸素モニター
Air-C

【主な用途】
・研究施設の酸素濃度管理
・クリーンルーム内の酸素濃度管理
・地下ピットの酸素濃度管理

詳しく見る

TBシリーズ

分離型高温ガス用酸素センサー
TB-ⅡG

【主な用途】
・ボイラー雰囲気管理
・鉄鋼プロセス
・非鉄プロセス
・窯業関連各種燃焼炉
・都市ごみ他焼却炉

詳しく見る

TB-ⅡG用アクセサリ
アスピレーターブロック

【主な用途】
・鉄鋼各プロセス
・非鉄各プロセス
・窯業関連各燃焼炉
・都市ごみ各燃焼炉
・その他高温高ダストガス

詳しく見る

TB-ⅡG用アクセサリ
ガイドプローブ

【主な用途】
・ボイラー
・鉄鋼各プロセス
・非鉄各プロセス
・窯業関連各燃焼炉
・都市ごみ各燃焼炉
・その他高温高ダストガス

詳しく見る

分離型低濃度用酸素センサー
TB-ⅡF

【主な用途】
・半導体製造等不活性ライン
・N2リフロー炉
・N2PSA
・雰囲気炉
・舶用IGS, IGG
・スチーム

詳しく見る

真空雰囲気用酸素センサー
TB-ⅡV/TB-ⅡVN

【主な用途】
・真空炉
・真空グローブボックス
・雰囲気制御チャンバー
・配管ダクト内酸素測定

詳しく見る

ポータブル型酸素濃度計
TB-FⅠシリーズ

【主な用途】
・半導体等不活性ライン
・N2リフロー炉
・ポータブル酸素濃度測定全般

詳しく見る

コントロールユニット

コントロールユニット
C-28C C-48

コントロールユニットC-28C、C-48はジルコニアO2センサーと組み合わせて使用します。 センサーの温度コントロールと、センサーからの信号を処理し、酸素濃度を表示します。

詳しく見る

FGシリーズ

高濃度酸素濃度計
FG-ⅡUX FG-ⅡU-100R

【主な用途】
・医療用空気
・O2PSA ・空気分離機

詳しく見る

高濃度ポータブル酸素濃度計
FG-Ⅰ FG-ⅠX

【主な用途】
・医療用空気
・O2PSA ・空気分離機
・ポータブル用途全般(高濃度)

詳しく見る

CGシリーズ

N2PSA用酸素濃度計
CG-SM

【主な用途】
・N2 PSA
・不活性ライン

詳しく見る

酸素モニター

ジルコニア酸素モニター
Air-C

【主な用途】
・研究施設の酸素濃度管理
・クリーンルーム内の酸素濃度管理
・地下ピットの酸素濃度管理

詳しく見る

その他

DG-Rシリーズ

炉体への直接取り付け、高温・高水分の雰囲気測定が可能な酸素濃度計です。
定置式、ポータブル式があります。直火式雰囲気炉、還元雰囲気炉に最適です。

炉天にフランジ施工して直接取り付けます。
サンプリング式ですが炉内のガスを熱対流によりダイレクトに循環測定しますのでサンプリング装置は不要です。直火式雰囲気炉に最適です。
DG-ⅠR(可搬式)

長期連続測定もできるポータブル炉気センサー。
運搬時は一体ですが、検出器と指示計が分離しますので検出器(センサー)はサンプル源に置き、
変換器(コントロールユニット)は操作しやすい所で使えます。
付属のエアーアスピレーターでサンプル吸引を行います。

DG-ⅡNDR(直接サンプリング式)

炉天にフランジ施工して直接取り付けます。
サンプリング式ですが炉内のガスを熱対流によりダイレクトに循環測定しますので
サンプリング装置は不要です。直火式雰囲気炉に最適です。

DG-ⅡNR(サンプリング式)

炉体にセンサーが取付け困難な時や、複数のポイントを切換測定する場合に使用できます。
露点の低いガスに適しており、DXガス、RXガス発生装置の管理用としても定評があります。

POシリーズ

炉内に検出部を直接挿入するのでサンプリング装置は不要です。
被測定ガスの温度を利用してジルコニアセンサーを作動、O2分圧を測定します。

CMシリーズ

CMシリーズは可燃性ガスと空気の予混合ガスをセンサー内の燃焼室で連続的に燃焼させ、その燃焼生成物中の酸素分圧を測定するもので、燃焼ガスや炉内の酸素過不足を予測することができます。
また、定置式、ポータブル式があります。

低酸素燃焼のCO+H2測定について

ジルコニア式酸素濃度計原理

ジルコニアセラミックスは赤熱された状態でその結晶構造中で酸素イオンが移動しやすくなり、セルの内外面の酸素分圧の差により電圧(セル電圧)を生じる酸素濃淡電池となります。
セルの内側に大気、外側にサンプルガスを接触させる事により大気の酸素濃度を基準にした電圧を発生させる事ができます。これは、以下の式によって表すことができます。

計算式

Eはジルコニアセラミックスが発生する電圧(mV)、Tはセルの絶対温度、大気の酸素濃度は一定ですから、セル温度が一定であればセル電圧も一定です。
逆算することによりサンプルガスの酸素濃度を知ることができます。
したがって検出セルは両側が大気の時、理論的にはセル電圧は0mVになり、サンプルガスの酸素濃度が大気に対して低くなるにしたがいセル電圧は大きくなります。

濃淡電池方式
還元雰囲気の測定について
金属の熱処理工程、またはセラミック焼成に還元雰囲気が用いられますが、TBセンサーではH2雰囲気、H2+不活性ガス、CO/CO2雰囲気中におけるH2-1/2 O2⇔H2O、CO+1/2 O2⇔CO2から解離して生じる1×10^-20 atmO2以下の酸素分圧を測定し、酸化⇔還元の判断、雰囲気管理を行う事ができます。
(高精度の還元雰囲気測定には「DG-R」シリーズが適しています。)
真空雰囲気の測定について
本計器はサンプルガスの酸素分圧を測定します。
したがって同じ酸素濃度のガスでも圧力が変化すればその圧力に応じた酸素分圧の起電力が発生します。
たとえば大気(約21%O2)を1Torrまで減圧しますと、大気圧は760Torrですから21×1/760=0.027%O2の指示が得られる事になります。
TB-ⅡFでCVDの排気ラインで1×10^-3Torr、TB-ⅡVでは、真空炉直接取り付けで1×10^-6Torrでの実績があります。
低酸素燃焼のCO+H2測定について
直火雰囲気炉でm値(空燃比)1以下の燃焼条件では CO+H2/CO2+H2Oから解離して生じる10^-10以下の酸素分圧測定によりCO+H2%の測定が可能です。
1%(CO+H2)+0.5%O2=1%(CO+H2O)になりますので、1%(CO+H2)を-0.5%O2に置き換え、-O2%のレンジで表すこともできます。
また、m値1の当量燃焼を目標の場合はゼロ点を中心に-02%~0~+02%のレンジ製作もできますのでご相談ください。
限界電流方式

ジルコニアディスクを一定温度に加熱し、白金電極に一定電圧を印加すると、ポンピング作用により酸素イオンをキャリヤとする電流が流れ、キャップ内の酸素が排出されて小孔から拡散する酸素とバランスする電流が流れます。(下図1及び2をご参照)
この酸素濃度の変化に対応した電流変化を増幅し、メーター内の折れ線ソフトでリニアライズして酸素濃度の表示をしています。

限界電流方式図

2年間保証について
用途別機種一覧へ
TOPPAGE