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【主な用途例】 ・研究施設やクリーンルーム ・不活性ガス(N2,Ar 等)を使用する環境 ・地下ピット、下水道等の地下空間
【主な用途例】 ・研究施設・装置 ・実験施設・装置 ・装置組み込み
【主な用途】 ・半導体等不活性ライン ・N2リフロー炉 ・ポータブル酸素濃度測定全般 ・排ガス、PSA